- Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and Microsystems Engineering Elements [статья из журнала]
2018, Theoretical Foundations of Chemical Engineering
присутствует в Web of Science Core Collection, Scopus, РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- Formation of cross-cutting structures with different porosity on thick silicon wafers : научное издание [статья из журнала]
2017, Modern Electronic Materials
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Металлизация макропористого кремния для создания топливных элементов : доклад, тезисы доклада [доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций]
2017, Современные проблемы радиоэлектроники
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Формирование пористых структур на кремнии с сегнетоэлектриком для элементов микроэлектроники и микросистемной техники емкостного типа : научное издание [статья из журнала]
2017, Химическая технология
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- Монолитный мембранно-электродный блок на кремнии для микротопливного элемента : научное издание [статья из журнала]
2017, Письма в Журнал технической физики
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- A monolithic silicon-based membrane-electrode assembly for micro fuel cells [статья из журнала]
2017, TECHNICAL PHYSICS LETTERS
присутствует в Web of Science Core Collection, Scopus, РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- Моделирование в радиочастотном диапазоне потерь в диэлектрических пленках : доклад, тезисы доклада [доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций]
2016, Современные проблемы радиоэлектроники
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Оптические свойства структуры на пористом кремнии с пленками модифицированного наноалмаза [статья из журнала]
2015, Письма в Журнал технической физики
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- Формирование пористых структур на кремнии [статья из журнала]
2015, Химическая технология
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- Optical properties of porous-silicon-based structures with modified nanodiamond films [статья из журнала]
2015, TECHNICAL PHYSICS LETTERS
присутствует в Web of Science Core Collection, Scopus, РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- Optical properties of porous silicon structures with nanophase diamond films [статья из журнала]
2015, THEORETICAL FOUNDATIONS OF CHEMICAL ENGINEERING
присутствует в Web of Science Core Collection, Scopus, РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- Antireflection and protective films for silicon solar cells : доклад, тезисы доклада [доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций]
2014, IOP Conference Series: Materials Science and Engineering
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Получение и исследование структур на пористом кремнии с пленками нанофазного алмаза [доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций]
2014, Современные проблемы радиоэлектроники
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Влияние способа освещения на структуру пористых слоев при изготовлении кремниевых микротопливных элементов [доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций]
2014, Современные проблемы радиоэлектроники
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Формирование сквозных структур с различной пористостью на толстых пластинах монокристаллического кремния [статья из журнала]
2014, Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- Формирование пористых структур на кремнии [статья из журнала]
2014, Химическая технология
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- Оптические свойства структур на пористом кремнии с пленками нанофазного алмаза [статья из журнала]
2014, Химическая технология
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU), Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU), Список ВАК
- Анализ механизмов образования пористого кремния при формировании толстых слоев [доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций]
2013, Современные проблемы радиоэлектроники
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU)
- Исследование влияния оптического излучения видимого диапазона на процесс формирования пористой структуры на кремнии : доклад, тезисы доклада [доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций]
2012, Современные проблемы радиоэлектроники
присутствует в РИНЦ (eLIBRARY.RU)