Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2015
Ключевые слова: пористые структуры на кремнии, электрохимическая обработка, оптическое излучение видимого диапазона, морфология пористого кремния
Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований процесса электрохимической обработки монокристаллического кремния. Изучено влияние оптического излучения видимого диапазона на процесс формирования пористых структур на кремнии. Проведенный анализ экспериментальных данных подтвердил гипотезу о влиянии длины волны оптического изПоказать полностьюлучения видимого диапазона на процесс формирования и морфологию пористых структур на кремнии. Оптические свойства пористого кремния в процессе его получения дают основание полагать, что излучение различных диапазонов спектра может быть использовано для управления процессом формирования пористой структуры.
Журнал: Химическая технология
Выпуск журнала: Т. 16, № 2
Номера страниц: 80-83
ISSN журнала: 16845811
Место издания: Москва
Издатель: Общество с ограниченной ответственностью "Наука и технологии"