Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ; Красноярск; Красноярск
Год издания: 2012
Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований процесса электрохимической обработки монокристаллического кремния. Изучено влияние оптического излучения видимого диапазона на процесс формирования пористых структур на кремнии. Проведенный анализ экспериментальных данных подтвердил гипотезу о влиянии длины волны оптического изПоказать полностьюлучения видимого диапазона на процесс формирования и морфологию пористых структур на кремнии. Оптические свойства пористого кремния в процессе его получения дают основание полагать, что излучение различных диапазонов спектра может быть использовано для управления процессом формирования пористой структуры.
Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники
Номера страниц: 505-509
Издатель: Сибирский федеральный университет