Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: Современные проблемы радиоэлектроники; Красноярск; Красноярск
Год издания: 2013
Аннотация: Приводятся современные представления о зарождении пор и их прорастании вглубь монокристаллической подложки при формировании пористого кремния. Делается попытка применить эти представления для случая получения толстых слоев пористого кремния на подложках с механическими дефектами.
Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники
Номера страниц: 338-343
Издатель: Сибирский федеральный университет