Перевод названия: Formation of porous structures on silicon with ferroelectric intended for components of microelectronics and capacitance type microsystem devices
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2017
Ключевые слова: пористые структуры на кремнии, электрохимическая обработка, сегнетоэлектрик, экстракционно-пиролитический метод, гетероструктуры на пористом кремнии с титанатом бария, porous silicon structure, electrochemical treatment, ferroelectric, extraction-pyrolytic method, heterostructure, porous silicon, barium titanate
Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований процесса формирования гетероструктур на основе пористого кремния с титанатом бария для элементов электроники и микросистемной техники емкостного типа. Изучена зависимость емкости и диэлектрической проницаемости от размерности пористой матрицы, количества наносимых слоев титанатПоказать полностьюа бария, материала обкладок конденсаторной структуры. Experimental study results of the formation process of heterostructures based on porous silicon with barium titanate and intended for components of microelectronics and capacitance type microsystem devices are presented. The dependences of capacitance and the dielectric constant on a porous matrix size, a number of deposited barium titanate layers, a capacitor plate material were studied.
Журнал: Химическая технология
Выпуск журнала: № 10
Номера страниц: 443-449
ISSN журнала: 16845811
Место издания: Москва
Издатель: Общество с ограниченной ответственностью "Наука и технологии"