Полный текст публикации: Формирование пористых структур на кремнии с сегнетоэлектриком для элементов микроэлектроники и микросистемной техники емкостного типа : научное издание
Полный текст публикации: Формирование пористых структур на кремнии с сегнетоэлектриком для элементов микроэлектроники и микросистемной техники емкостного типа : научное издание
Полный текст не загружен, но возможно он доступен по одной из следующих ссылок: