Полный текст публикации: Устройство для создания контролируемых упругих напряжений в тонкой пленке, осажденной на подложку : патент на изобретение

Полный текст не загружен, но возможно он доступен по одной из следующих ссылок:

  1. РИНЦ (eLIBRARY.RU) (справа ссылка «Загрузить полный текст»)
  2. Поиск в Академии Google

Вернуться на страницу публикации