Устройство для создания контролируемых упругих напряжений в тонкой пленке, осажденной на подложку : патент на изобретение

Описание

Тип публикации: патент

Год издания: 2023

Аннотация:

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к области исследования влияния механических напряжений на физические свойства тонких пленок и предназначено для создания упругих деформаций в тонкой пленке, осажденной на подложку. Подложка уложена на поперечную опору на верхней части основания и зафиксирована при помощи клея на двух площадках, расположенных в сквозных вырезах в основании на разных продольных расстояниях от опоры и передвигающихся вниз под действием рычагов. Рычаги расположены на нижней стороне устройства и соединены с площадками посредством цилиндрических ступенчатых тяг. Положение рычагов регулируется размещенными в них установочными винтами. Техническим результатом заявляемого изобретения является повышение площади фиксации подложки на устройстве, исключение необходимости изготовления подложек с концами клиновидной формы и снижение технической сложности устройства. 4 ил.

FIELD: measuring equipment.

SUBSTANCE: invention relates to the field of studying the influence of mechanical stresses on the physical properties of thin films and is intended to create elastic deformations in a thin film deposited on a substrate. The substrate is laid on a transverse support on the upper part of the base and fixed with glue on two platforms located in through cutouts in the base at different longitudinal distances from the support and moving down under the action of levers. The levers are located on the underside of the device and are connected to the platforms by means of cylindrical step rods. The position of the levers is adjusted by the set screws placed in them.

EFFECT: increasing the area of fixation of the substrate on the device, eliminating the need to manufacture substrates with wedge-shaped ends and reducing the technical complexity of the device.

1 cl, 4 dwg

Ссылки на полный текст

Вхождение в базы данных