Полный текст публикации: Активный литографический шаблон с микромеханически подвижными элементами, способ его получения и способ формирования функциональной структуры с использованием активного шаблона : патент на изобретение
Полный текст публикации: Активный литографический шаблон с микромеханически подвижными элементами, способ его получения и способ формирования функциональной структуры с использованием активного шаблона : патент на изобретение
Полный текст не загружен, но возможно он доступен по одной из следующих ссылок: