Полный текст публикации: Изготовление и исследование тонкопленочных конденсаторов на основе PECVD – Si3N4 : доклад, тезисы доклада

Полный текст не загружен, но возможно он доступен по одной из следующих ссылок:

  1. РИНЦ (eLIBRARY.RU) (справа ссылка «Загрузить полный текст»)
  2. Поиск в Академии Google

Вернуться на страницу публикации