Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: Современные проблемы радиоэлектроники; Красноярск; Красноярск

Год издания: 2017

Аннотация: Описывается технологический маршрут изготовления тонкопленочных металл-диэлектрик-металл конденсаторов, предназначенных для поверхностного монтажа на гибридные схемы. Конденсаторы изготовлены на основе Si3N4 осажденного методом плазменно-химического осаждения из газовой фазы на медной подложке.

Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники

Номера страниц: 508-511

Издатель: Сибирский федеральный университет

• Зеленов Ф.В. (Научно-производственное предприятие «Радиосвязь»)
• Масюгин Альберт Николаевич (Научно-производственное предприятие «Радиосвязь»)
• Иванов А.Б. (Научно-производственное предприятие «Радиосвязь»)
• Коновалов С.О. (Научно-производственное предприятие «Радиосвязь»)
• Тютюнник М.О. (Сибирский федеральный университет)
• Барон Ф.А. (Научно-производственное предприятие «Радиосвязь»)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)