Efficient arc sources of Gas-Discharge Plasma in Vacuum-Plasma Production Facilities

Описание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2012

Ключевые слова: arc discharge, Hot cathode, vacuum-plasma technologies, plasma generator

Аннотация: Characteristics and design features of electrode systems for sources of gas-discharge plasmas based on an arc discharge in gas sustained by electron emission from a hot cathode are presented. A possibility of achieving high values of the parameters of plasma generated by the proposed sources in large volumes is shown, which determiПоказать полностьюnes the efficiency of these sources in vacuum-plasma production facilities.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Известия высших учебных заведений. Физика

Выпуск журнала: Т. 55, 12-2

Номера страниц: 24-28

ISSN журнала: 00213411

Место издания: Томск

Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский Томский государственный университет

Персоны

  • Borisov Dmitry Petrovich (Tomsk State University)
  • Koval Nikolay Nikolaevich (Siberian Federal University)
  • Korotaev Alexander Dmitrievich (Tomsk State University)
  • Kuznetsov V.M. (Tomsk State University)
  • Romanov V.Ya. (Tomsk State University)
  • Silchenko P.N. (Siberian Federal University)
  • Terekhov P.A. (Tomsk State University)
  • Chulkov E.V. (Tomsk State University)

Вхождение в базы данных