Автоматизация магнитоэллипсометрических IN SITU измерений на сверхвысоковакуумном комплексе для синтеза и исследования материалов спинтроники

Описание

Перевод названия: AUTOMATION OF MAGNITOELLIPSOMETRIC IN SITU MEASUREMENTS ON THE ULTRAHIGH-VACUUM COMPLEX FOR SYNTHESIS AND RESEARCH OF MATERIALS OF SPINTRONICS

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2012

Ключевые слова: Ultrahigh-vacuum technology of multilayered nano-structures, spectral ellipsometry, Kerr effect, сверхвысоковакуумная технология многослойных нанострутур, спектральная эллипсометрия, эффект Керра

Аннотация: Представлены результаты модернизации созданного коллективом авторов магнитоэллипсометрического комплекса. Проведена автоматизация процессов управления аппаратной частью и реализованы алгоритмы обработки сигналов магнитоэллипсометра. Возможности созданной системы были продемонстрированы на примере технологического цикла создания и in situ исследования структурных, оптических и магнитных свойств наноструктуры Fe/SiO 2/Si(100).

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета им. академика М.Ф. Решетнева

Выпуск журнала: 4

Номера страниц: 162-168

ISSN журнала: 18169724

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

Авторы

  • Лященко С.А. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
  • Варнаков С.Н. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
  • Тарасов И.А. (Институт физики имени Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук)
  • Шевцов Д.В. (Институт физики имени Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук)
  • Овчинников С.Г. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)

Вхождение в базы данных