СПОСОБ ТЕРМООБРАБОТКИ СИЛЬНОЛЕГИРОВАННЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ

Описание

Перевод названия: METHOD FOR HEAT TREATMENT OF HIGHLY ALLOYED MONOCRYSTALS OF SILICIUM

Тип публикации: патент

Год издания: 1997

Аннотация: p num="19"Использование: способ относится к металлургии, а именно к технологии полупроводниковых материалов, преимущественно для получения однородных сильнолегированных монокристаллов кремния с воспроизводимыми электрофизическими характеристиками. Сущность изобретения: способ включает многократный нагрев до (1470±50)K и охлаждение Показать полностьюдо (770±50)K, которые проводят 4-5 раз. При этом обеспечивается снижение разницы значений концентраций вдвое по сравнению с прототипом и сокращение процесса термообработки. 1 табл./p

Ссылки на полный текст

Авторы

Вхождение в базы данных