СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ КОНТЕЙНЕРОВ

Описание

Перевод названия: METHOD OF MAKING QUARTZ CONTAINERS

Тип публикации: патент

Год издания: 2014

Аннотация: p num="40"Изобретение относится к способам изготовления кварцевых контейнеров с защитным углеродным покрытием для синтеза и кристаллизации расплавов полупроводниковых материалов, а также для получения особо чистых металлов и полиметаллических сплавов. Способ изготовления кварцевых контейнеров с защитным углеродным покрытием для высПоказать полностьюокотемпературных процессов включает нанесение на рабочую поверхность кварцевого контейнера полимерной пленки с последующим отжигом в инертной атмосфере. Нанесение упомянутой пленки на рабочую поверхность кварцевого контейнера проводят путем осаждения полигексаметиленгуанидингидрохлорида или полидиаллилдиметиламмонийхлорида из его 7-10%-ного водного раствора с pH 1-3 и последующего отжига в инертной атмосфере при 900-1000°C в течение 30-60 минут. Улучшается качество защитных покрытий на поверхностях кварцевых контейнеров за счет повышения их плотности и прочности с обеспечением предотвращения взаимодействия расплавленного материала с рабочими стенками контейнера любой формы и уменьшение загрязнения получаемого материала диффундирующими примесями химических элементов из кварца. 1 табл., 2 пр./p p num="41"FIELD: chemistry./p p num="42"SUBSTANCE: method of making quartz containers with a protective carbon coating for high-temperature processes involves depositing a polymer film on the working surface of the quartz container, followed by annealing in an inert atmosphere. Said film is deposited on the working surface of the quartz container by depositing polyhexamethylene guanidine hydrochloride or polydiallyldimethylammonium chloride from its 7-10% aqueous solution with pH 1-3 and subsequent annealing in an inert atmosphere at 900-1000°C for 30-60 minutes./p p num="43"EFFECT: improved quality of protective coatings on the surface of quartz containers owing to high density and strength thereof while preventing reaction molten material with working walls of a container of any shape and reduced contamination of the obtained material with diffusing chemical impurities from quartz./p p num="44"1 tbl, 2 ex/p

Ссылки на полный текст

Вхождение в базы данных