INVESTIGATION OF THE BOUNDARY OF AN EPITAXIAL LAYER OF SILICON AFTER THE ACTION OF DESTABILIZING FACTORS

Описание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 1981

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: INORGANIC MATERIALS

Выпуск журнала: Vol. 17, Is. 7

Номера страниц: 848-850

ISSN журнала: 00201685

Место издания: NEW YORK

Издатель: MAIK NAUKA/INTERPERIODICA

Персоны

Вхождение в базы данных