Перевод названия: COMPARISON OF IRON SILICIDE SYNTHESIZED BY MOLECULAR BEAM AND SOLID-PHASE EPITAXY

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2010

Ключевые слова: полупроводниковые и магнитные гетероструктуры, интерфейсы Fe/Si, магнитные силициды, semiconductor and magnetic geterostructures, interfaces Fe/Si, magnetic silicide

Аннотация: Представлены результаты исследований силицидов железа, полученных методами молекулярно-лучевой и твердофазной эпитаксии, с помощью дифракции отраженных быстрых электронов, электронной оже-спектроскопии, спектроскопии характеристических потерь энергии электронов и спектральной эллипсометрии. The initial stages of Fe-Si silicides forПоказать полностьюmation, obtained by methods of reactive and solid-phase epitaxy at different temperatures of substrate Si, high energy electron diffraction, Auger-electron, electron-energy-loss spectroscopic and spectroscopic ellipsometry are presented in the article. The influence of process parameters during deposition on the formation of silicides was investigated.

Журнал: Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета им. академика М.Ф. Решетнева

Выпуск журнала: № 4

Номера страниц: 45-51

ISSN журнала: 18169724

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

• Варнаков С.Н. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
• Яковлев И.А. (Сибирский государственный аэрокосмический университет)
• Лященко С.А. (Сибирский государственный аэрокосмический университет)
• Овчинников С.Г. (Институт физики имени Л. В. Киренского)
• Бондаренко Г.В. (Институт физики имени Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)