Перевод названия: DESIGN AND RESEARCH OF THE MICROMECHANICAL RESONATOR
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2013
Ключевые слова: SCREAM-технология, SCREAM technology, Micromechanical resonators, MEMS (microelectromechanical systems), микромеханические резонаторы, МЭМС (микроэлектромеханические системы)
Аннотация: Представлены конструкция и технология изготовления высокодобротных кремниевых резонаторов. Изготовлены экспериментальные образцы микромеханических резонаторов. Проведен анализ режимов работы резонаторов на основе конечно-элементного моделирования. The design and manufacturing techniques of silicon resonators is presented. ExperimenПоказать полностьюtal samples of micromechanical resonators are made. The analysis of resonators operating modes on the basis of finite element method is carried out.
Журнал: Известия высших учебных заведений. Физика
Выпуск журнала: Т. 56, № 8-3
Номера страниц: 159-161
ISSN журнала: 00213411
Место издания: Томск
Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский Томский государственный университет