ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОБЛЕМЫ СОЗДАНИЯ СИСТЕМЫ НАГРЕВА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК В УСЛОВИЯХ ВЫСОКОГО ВАКУУМА : научное издание
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОБЛЕМЫ СОЗДАНИЯ СИСТЕМЫ НАГРЕВА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК В УСЛОВИЯХ ВЫСОКОГО ВАКУУМА : научное издание
Описание
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2013
Аннотация: Рассматривается исследование проблемы создания электрического нагревателя кремниевых подложек в вакуумной камере и результаты работы над ним.