Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2011

Аннотация: Оценивается недостатки процесса резки полупроводниковых пластин лазерным методом. Рассматриваются различные факторы, влияющие на качество конечного продукта. Проведен анализ и выявлено решение проблемы.

Журнал: Актуальные проблемы авиации и космонавтики

Выпуск журнала: Т. 1, № 7

Номера страниц: 179-180

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

• Ступак В.В. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)
• Шестаков И.Я. (Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М. Ф. Решетнева)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)