Перевод названия: ТЕХНОЛОГИЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УСТРОЙСТВ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2016
Ключевые слова: technology of molecular-ray epistaxis, a one-dimensional periodically structure, молекулярно-лучевая эпитаксия, наноэлектроника, сверхтонкие слои, монокристаллы высокой частоты
Аннотация: Molecular beam epitasis helps to solve very important tasks, such as how to get single crystals of ultrahigh frequency, or a smooth faultless surface. Moreover, using molecular beam epitasis helps to obtain thin layers with a controlled quantity. С помощью молекулярно-лучевой эпитаксии решаются важнейшие задачи, такие как получениеПоказать полностьюмонокристаллов высокой чистоты, получение гладких бездефектных поверхностей, а также получение сверхтонких слоев с контролируемой толщиной.
Журнал: Молодежь. Общество. Современная наука, техника и инновации
Выпуск журнала: № 15
Номера страниц: 226-227
Место издания: Красноярск
Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева"