Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2016
Ключевые слова: наклонное осаждение, моделирование роста пленок, метод Монте-Карло
Аннотация: На основе метода Монте-Карло построена модель роста тонких пленок, получаемых наклонным падением частиц. Проведен анализ морфологии синтезированных в результате моделирования структур. Для изучения характера распределения микроструктурных элементов (столбцов) в плоскости пленки использовались автокорреляционная функция микроструктуПоказать полностьюры и быстрое преобразование Фурье. Показано, что с увеличением угла падения частиц плотность пленки монотонно падает, при этом возникает и монотонно растет анизотропия формы поперечного сечения столбцов, а также растет анизотропия в распределении столбцов по плоскости подложки.
Журнал: Известия высших учебных заведений. Физика
Выпуск журнала: Т. 59, № 2
Номера страниц: 120-125
ISSN журнала: 00213411
Место издания: Томск
Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский Томский государственный университет