Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2015
Идентификатор DOI: 10.7868/S0320791915030168
Аннотация: Выполнен теоретический анализ структуры “Ме1/AlN/Ме1/(100) алмаз”, экспериментальные исследования проводились в области 0.5?10 ГГц на многочастотных акустических резонаторах с различной топологией электродов, изготовленных на основе структуры “Al/AlN/Mo/(100) алмаз”. Получено максимальное значение параметра качества Q ? f img src="Показать полностью/ItemImages/1400782/23661993/FO_2_1.gif" align=absmiddle border=0 1014 Гц при f = 9.5 ГГц. Для анализа слоистой структуры была разработана программа “HBAR, ver. 2.3”. Показано, что особенности в частотных зависимостях параметров таких резонаторов связаны с поведением нагруженного тонкопленочного преобразователя. Результаты расчета находятся в близком согласии с экспериментально наблюдаемыми. Рассчитаны частотные зависимости эквивалентных параметров резонаторов. Показано, что синтетический монокристалл алмаза IIa типа в сочетании с нитридом алюминия является перспективным для реализации высокодобротных акустоэлектронных СВЧ-устройств.
Журнал: Акустический журнал
Выпуск журнала: Т. 61, № 4
Номера страниц: 464
ISSN журнала: 03207919
Место издания: Москва
Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука"