Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2024

Идентификатор DOI: 10.31857/S2686740024060012

Ключевые слова: thin magnetic film, semiconductors substrate, complex permittivity, absorption coefficient, слоистая структура металл-диэлектрик, полосно-пропускающий фильтр, комплексная диэлектрическая проницаемость, коэффициент поглощения

Аннотация: Исследовано поведение спектров ферромагнитного резонанса тонких магнитных пленок из пермаллоя Fe₃₀Ni₇₀ толщиной 50 нм в зависимости от проводимости кремниевой подложки толщиной 0.25 мм. Пленки получены вакуумным магнетронным напылением с использованием DC-магнетрона. Спектры снимались на сканирующем спектрометре ферромагнитного резонанса на частоте измерительной головки 3.123 ГГц с локальностью измерения ~1.0 мм² , определяемой площадью отверстия в измерительной головке. Обнаружено, что в определенном интервале проводимости подложки спектры, снятые в случае положения образца пленкой к измерительному отверстию, инвертируются, когда к измерительному отверстию обращена свободная сторона подложки. Результаты электродинамического анализа одномерной модели, отражающей условия проведенного эксперимента, качественно согласуются с результатами измерений. The behavior of the ferromagnetic resonance spectra of thin magnetic films made of permalloy Fe₃₀Ni₇₀ with a thickness of 50 nm was studied depending on the conductivity of a 0.25 mm thick silicon substrate. The films were obtained by vacuum magnetron sputtering using a DC magnetron. The spectra were taken on a scanning ferromagnetic resonance spectrometer at a frequency of 3.123 GHz with a measurement locality of ~ 1.0 mm², determined by the area of the hole in the measuring head. It was found that in a certain range of substrate conductivity, the spectra taken when the sample was positioned with the film facing the measuring hole are inverted when the free side of the substrate faces the measuring hole. The results of the electrodynamic analysis of the one-dimensional model, reflecting the conditions of the experiment, are in qualitative agreement with the measurement results.

Журнал: Доклады Российской академии наук. Физика, технические науки

Выпуск журнала: Т. 519, № 1

Номера страниц: 5-12

ISSN журнала: 26867400

Место издания: Москва

Издатель: Российская академия наук

• Беляев Б.А. (Сибирский федеральный университет)
• Тюрнев В.В. (Институт физики им. Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, ФИЦ КНЦ СО РАН)
• Скоморохов Г.В. (Институт физики им. Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, ФИЦ КНЦ СО РАН)
• Горчаковский А.А. (Институт физики им. Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, ФИЦ КНЦ СО РАН)
• Подшивалов И.В. (Институт физики им. Л. В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, ФИЦ КНЦ СО РАН)

• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)