Перевод названия: NEW METHOD OF SURFACE EXCITATION PARAMETER DETERMINATION IN INELASTIC SCATTERING CROSS-SECTION
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2014
Ключевые слова: спектроскопии сечения неупругого рассеяния электронов, спектроскопия характеристических потерь энергии электронами, параметр поверхностных возбуждений, inelastic scattering cross-section, Electron energy loss spectroscopy, Surface excitation parameter
Аннотация: Спектры потерь энергии отраженных электронов получены для серии образцов Si. Из этих экспериментальных спектров вычислены зависимости произведения средней длины неупругого пробега и дифференциального сечения неупругого рассеяния электронов от потерь энергии электронов. Предложен новый метод определения параметра поверхностных возбуПоказать полностьюждений в спектроскопии сечения неупругого рассеяния электронов, основанный на разложении этих спектров на пики потерь, описываемые трехпараметрическими универсальными функциями сечения Тоугаарда. Energy loss spectra of reflected electrons are obtained for the series of Si samples. Energy loss dependence of inelastic mean free path and differential inelastic electron scattering cross-section are calculated. A new method to determine surface excitation parameter, based on fitting of these spectra with the Tougaard Three-parameter Universal cross-section is proposed.
Журнал: Решетневские чтения
Выпуск журнала: Т. 1, № 18
Номера страниц: 469-471
ISSN журнала: 19907702
Место издания: Красноярск
Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева