Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2024

Аннотация: Целью данной работы является рассмотрение особенностей возбуждения и распространения СВЧ волн Лэмба, Рэлея и SH-волн с частотами до 20 ГГц в мультислойной пьезоэлектрической структуре “Al-ВШП/(Al,Sc)N/(001)[110] алмаз” на основе тонкой алмазной подложки (60 мкм). Будут представлены амплитудно-частотные характеристики в диапазоне 0.Показать полностью5...20 ГГц, изучены дисперсионные характеристики, рассчитаны профили волн и выполнена их идентификация, а также исследовано влияние осаждения пленки Pt на свободную поверхность алмазной подложки.

Журнал: Акустический журнал

Выпуск журнала: Т. 70, № S5

Номера страниц: 48

ISSN журнала: 03207919

Место издания: Москва

Издатель: Российская академия наук

• Сорокин Б.П. (Государственный научный центр РФ "Технологический институт сверхтвёрдых и новых углеродных материалов" (ГНЦ ТИСНУМ))
• Асафьев Н.О. (Государственный научный центр РФ "Технологический институт сверхтвёрдых и новых углеродных материалов" (ГНЦ ТИСНУМ))
• Яшин Д.В. (Государственный научный центр РФ "Технологический институт сверхтвёрдых и новых углеродных материалов" (ГНЦ ТИСНУМ))
• Бурков С.И. (Государственный научный центр РФ "Технологический институт сверхтвёрдых и новых углеродных материалов" (ГНЦ ТИСНУМ))
• Кузнецов М.С. (Государственный научный центр РФ "Технологический институт сверхтвёрдых и новых углеродных материалов" (ГНЦ ТИСНУМ))

• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)