КОНТЕЙНЕРНЫЙ МАТЕРИАЛ ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ИЗ ПЛАВЛЕНОГО КВАРЦА С ДОБАВКАМИ НАНОВОЛОКОН Al2O3 : научное издание

Описание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2024

Идентификатор DOI: 10.31857/S0002337X24030166

Ключевые слова: плавленый кварц, контейнерный материал, нановолокна оксида алюминия, механическая прочность

Аннотация: Изучено влияние нановолокон Al2O3 на свойства керамики из плавленого кварца, используемой в производстве контейнеров для расплава полупроводниковых материалов. Установлено, что добавка от 0.05 до 0.15 мас. % нановолокон оксида алюминия приводит к увеличению механической прочности керамики, полученной методом шликерного литья. Прочность на сжатие керамического материала при добавлении 0.15 мас. % нановолокон после спекания при температуре 1200°С возрастает от 90 ± 4 до 143 ± 9 МПа, прочность на изгиб при этом изменяется от 28 ± 2 до 42 ± 3 МПа.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Неорганические материалы

Выпуск журнала: Т. 60, 3

Номера страниц: 381-386

ISSN журнала: 0002337X

Место издания: Москва

Издатель: Российская академия наук, Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН

Персоны

Вхождение в базы данных