Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2024
Идентификатор DOI: 10.31857/S0002337X24030166
Ключевые слова: плавленый кварц, контейнерный материал, нановолокна оксида алюминия, механическая прочность
Аннотация: Изучено влияние нановолокон Al2O3 на свойства керамики из плавленого кварца, используемой в производстве контейнеров для расплава полупроводниковых материалов. Установлено, что добавка от 0.05 до 0.15 мас. % нановолокон оксида алюминия приводит к увеличению механической прочности керамики, полученной методом шликерного литья. Прочность на сжатие керамического материала при добавлении 0.15 мас. % нановолокон после спекания при температуре 1200°С возрастает от 90 ± 4 до 143 ± 9 МПа, прочность на изгиб при этом изменяется от 28 ± 2 до 42 ± 3 МПа.
Журнал: Неорганические материалы
Выпуск журнала: Т. 60, № 3
Номера страниц: 381-386
ISSN журнала: 0002337X
Место издания: Москва
Издатель: Российская академия наук, Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН