Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Год издания: 2024
Ключевые слова: Ito, спектрофотомерия, метод ван дер Пау, прозрачные электроды, spectrophotometry, van der Pauw method, transparent electrodes
Аннотация: В статье приведены результаты исследований влияния материала подложки, параметров нанесения и толщины ITO покрытия на его функциональные характеристики (прозрачность и поверхностное сопротивление). Покрытия различной толщины нанесены методом магнетронного распыления на 2 типа подложек: стекло и пленку полиэтилентерефталата. ПроведеПоказать полностьюны исследования оптических параметров методом спектрофотомерии (в видимом диапазоне длин волн), поверхностного сопротивления - четырехзондовым методом ван дер Пау. В результате определены оптимальные по соотношению прозрачности и поверхностного сопротивления значения параметров нанесения и толщины ITO покрытий для каждого типа подложки с целью их последующего применения в качестве прозрачных электродов в микроэлектронике, оптоэлектронике, солнечной энергетике и др. The article presents the results of studies of the influence of the substrate material, deposition parameters and thickness of the ITO coating on its functional characteristics (transparency and surface resistance). Coatings of different thickness were deposited by magnetron sputtering on 2 types of substrates: glass and polyethylene terephthalate film (PET). The optical parameters were studied by spectrophotometry (in the visible wavelength range), and the surface resistance was studied by the four-probe van der Pauw method. As a result, the optimal values of the application parameters and thickness of the ITO coatings for each type of substrate were determined in terms of the ratio of transparency and surface resistance for their subsequent use as transparent electrodes in microelectronics, optoelectronics, solar energy, etc.
Журнал: Акустооптические и радиолокационные методы измерений и обработки информации
Номера страниц: 446-449
Место издания: Москва