Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2008
Аннотация: Рассмотрены существующие подходы к компьютерному моделированию компонентов микроэлектромеханических систем (МЭМС) и соответствующие виды программных средств анализа. Приведены примеры численных моделей микроустройств с помощью пакетов ANSYS и Comsol Multiphysics. Применение предлагаемых моделей позволяет проводить мультифизичный (мПоказать полностьюеждисциплинарный) анализ компонентов МЭМС с учетом факторов, оказывающих существенно влияние на работу микроустройств.
Журнал: Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС)
Выпуск журнала: № 1
Номера страниц: 398-401
ISSN журнала: 20787707
Место издания: Москва
Издатель: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук