Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: Обмен опытом в области создания сверхширокополосных радиоэлектронных систем; Омск; Омск

Год издания: 2024

Ключевые слова: TDDB, атомно-слоевое осаждение, тонкопленочный конденсатор, время наработки до отказа

Аннотация: В работе представлены опыт использования ускоренного метода прогнозирования времени наработки до отказа для контроля качества и оптимизации технологического процесса изготовления тонкопленочных конденсаторов на основе пленок Al₂O₃, выращенных методом атомно-слоевого осаждения. Продемонстрирована чувствительность распределения значений времени наработки до отказа к изменениям технологического процесса.

Журнал: Обмен опытом в области создания сверхширокополосных радиоэлектронных систем

Номера страниц: 126-129

Место издания: Омск

• Масюгин А. Н. (Сибирский федеральный университет)
• Коновалов С. О. (АО «НПП «Радиосвязь»)
• Зеленов Ф. В. (СибГУ им. М.Ф. Решетнева)
• Иванов А. Б. (АО «НПП «Радиосвязь»)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)