Тип публикации: патент
Год издания: 2024
Аннотация: Использование: для неразрушающего контроля качества и однородности магнитных пленок путем регистрации спектров ферромагнитного резонанса от локальных участков тонкопленочных образцов. Сущность изобретения заключается в том, что СВЧ-детектор спектрометра ферромагнитного резонанса, содержащий корпус из немагнитного материала и печатную плату, на нижней стороне которой расположен экран с измерительным отверстием, над которым на верхней стороне платы установлен индуктивный элемент, при этом измерительное отверстие представляет собой прямоугольный вырез в электромагнитном экране, в центре которого располагается индуктивный элемент, выполненный в виде отрезка полосковой линии или многовитковой катушки. Технический результат: повышение однородности распределения магнитного СВЧ-поля, локализованного в области измерительного отверстия. 4 ил.
FIELD: measurement. SUBSTANCE: use for non-destructive control of quality and homogeneity of magnetic films by recording ferromagnetic resonance spectra from local sections of thin-film samples. Essence of the invention consists in the fact that a microwave detector of a ferromagnetic resonance spectrometer, comprising a housing from a non-magnetic material and a printed circuit board, on the lower side of which there is a screen with a measuring hole, above which on the upper side of the board there is an inductive element, wherein the measuring hole is a rectangular cutout in the electromagnetic screen, in the centre of which there is an inductive element made in the form of a section of a strip line or a multiturn coil. EFFECT: high uniformity of distribution of the magnetic microwave field localized in the area of the measuring hole. 1 cl, 4 dwg