Перевод названия: THE MAJOR MATHEMATICAL RATIOS OF CONTACT MONITORING METHOD OF MONOCRYSTAL GROWTH BY CZOCHRALSKI METHOD
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2005
Аннотация: В предложенном автором контактном методе управления диаметром вытягиваемого монокристаллического слитка из расплава по способу Чохральского разработан математический алгоритм формирования управляющего сигнала как функция отклонения текущей площади выращиваемого кристалла от заданной. Метод основан на стабилизации уровня расплава с Показать полностьювысокой точностью, что позволяет произвести автоматизацию процесса выращивания заданного диаметра кристалла на всех его стадиях роста. In the contact monitoring method of diameter of monocrystalline ingot pulled from melt by Czochralsky method offered by the author, a mathematical algorithm of monitoring signal formation has been developed as a function of deviation of current area of grown crystal from given one. The method is based on stabilization of melt level to high precision which allows to perform automatic growth process of given crystal diameter on all its growth stages. 88
Журнал: Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета им. академика М.Ф. Решетнева
Выпуск журнала: № 4
Номера страниц: 85-88
ISSN журнала: 18169724
Место издания: Красноярск
Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева