Тип публикации: патент
Год издания: 2024
Аннотация: Изобретение относится к области технологии микроструктур и предназначено для формирования квазипериодической текстуры на поверхности подложек. Устройство содержит основание и держатель подложки. Основание выполнено с пазом для размещения в нем абразивного материала. На основании установлены стойки с закрепленными направляющими для обеспечения поступательного перемещения держателя с подложкой. Устройство снабжено кареткой, связанной с держателем подложки посредством карданова подвеса, состоящего из рычага и рамки, соединенных сопряжением цапфа – призма, и предназначенного для передачи прижимного усилия от пружины, установленной в отверстии каретки, на держатель с подложкой. Снижаются массогабаритные характеристики и техническая сложность устройства, обеспечивается текстурирование поверхности подложки из любого применяемого материала. 3 ил.
FIELD: microstructure technology. SUBSTANCE: invention is intended for the formation of a quasi-periodic texture on the surface of substrates. The device contains a base and a substrate holder. The base is made with a groove for placing abrasive material in it. The base has racks with fixed guides to ensure translational movement of the holder with the substrate. The device is equipped with a carriage connected to the substrate holder by means of a gimbal suspension, consisting of a lever and a frame connected by a pin-prism interface, and designed to transfer the pressing force from a spring installed in the carriage hole to the holder with the substrate. EFFECT: weight and size characteristics and technical complexity of the device are reduced, and texturing of the surface of the substrate from any material used is ensured. 1 cl, 3 dwg