Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2012
Ключевые слова: arc discharge, Hot cathode, vacuum-plasma technologies, plasma generator
Аннотация: Characteristics and design features of electrode systems for sources of gas-discharge plasmas based on an arc discharge in gas sustained by electron emission from a hot cathode are presented. A possibility of achieving high values of the parameters of plasma generated by the proposed sources in large volumes is shown, which determiПоказать полностьюnes the efficiency of these sources in vacuum-plasma production facilities.
Журнал: Известия высших учебных заведений. Физика
Выпуск журнала: Т. 55, № 12-2
Номера страниц: 24-28
ISSN журнала: 00213411
Место издания: Томск
Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Национальный исследовательский Томский государственный университет