Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2015
Ключевые слова: экстракционно-пиролитический метод, прозрачные проводящие оксидные пленки
Аннотация: Представлены результаты разработки растворного экстракционно-пиролитического метода получения оксидных покрытий для создания прозрачных проводящих резистивных покрытий для СВЧ-электроники
Журнал: Электроника и микроэлектроника СВЧ
Выпуск журнала: Т. 1, № 1
Номера страниц: 73-76
Место издания: Санкт-Петербург
Издатель: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ЛЭТИ им. В.И. Ульянова (Ленина)