Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ В МАТЕРИАЛОВЕДЕНИИ И МАШИНОСТРОЕНИИ (ИТММ-2023); Пермь; Пермь

Год издания: 2023

Ключевые слова: покрытия, нитриды, вакуумный дуговой разряд

Аннотация: В работе получены многослойные покрытия ZrN/TiN с вариативной толщиной бислоя (Δ=30, 300, 600 нм). Методом рентгеновской дифракции исследовано влияние толщины бислоя и отношения толщин отдельных подслоев на микроструктуру покрытий. Установлены зависимости остаточных напряжений в покрытии от отношения толщин слоев ZrN:TiN и толщины Показать полностьюбислоя.

Журнал: Инновационные технологии в материаловедении и машиностроении (ИТММ-2023)

Номера страниц: 305-308

Место издания: Пермь

• Федоров Л.Ю. (Федеральный исследовательский центр Красноярский научный центр Сибирского отделения РАН)
• Ушаков А.В. (Федеральный исследовательский центр Красноярский научный центр Сибирского отделения РАН)
• Карпов И.В. (Сибирский федеральный университет)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)