Перевод названия: POSSIBILITY OF ELECTRO-CONTACT-CHEMICAL CUTTING WITH A VIBRATING ELECTRODE-TOOL OF SINGLE-CRYSTAL SILICON
Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: Актуальные проблемы авиации и космонавтики; Красноярск; Красноярск
Год издания: 2023
Ключевые слова: single-crystal silicon, electrical processing unit, vibrating electrode, alkali aqueous solution, vibration amplitude, surface quality, passivation, монокристаллический кремний, установка электро-обработки, вибрирующий электрод, водный раствор щёлочи, амплитуда вибрации, качество поверхности, пассивация
Аннотация: В любом аппарате ракетно-космической техники имеются электронные приборы, при изготовлении которых используется полупроводниковый кремний в виде подложки(пластины). При изготовлении пластины применяется механическая резка, которая требует больших затрат. Оценивается возможность использования электро-контактно-химического способа реПоказать полностьюзки для получения пластины монокристаллического кремния. In any apparatus of rocket and space technology there are electronic devices, in the manufacture of which semiconductor silicon is used in the form of a substrate (plate). In the manufacture of the plate, mechanical cutting is used, which is costly. The possibility of using an electro-contact-chemical cutting method to obtain a single-crystal silicon wafer is evaluated.
Журнал: Актуальные проблемы авиации и космонавтики
Выпуск журнала: 1
Номера страниц: 572-573
Место издания: Красноярск
Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева"