Тип публикации: диссертация
Год издания: 2018
Ключевые слова: СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНОЕ ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ, ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ И МАГНИТНЫЕ ПЛАНАРНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ, СИЛИЦИДЫ ЖЕЛЕЗА И МАРГАНЦА
Аннотация: Цель: установление закономерностей формирования фаз силицидов переходных металлов в планарных наноструктурах металл/кремний, разработка эффективных методов создания пленок магнитных силицидов и исследование их физических свойств. Приведены: детальное изложение модернизированного технологического комплекса молекулярно-лучевой эпитакПоказать полностьюсии и развитых оригинальных методик контроля синтеза пленок Fe-Si и Mn-Si; результаты исследования однослойных и многослойных пленок Fe-Si, а в пятой – магнитных силицидов Fe₃Si и Fe₅Si₃; описание результатов исследования начальных стадий роста Mn на поверхности Si(100) 2x1 и диода Шоттки Mn/SiO₂/p-Si. Результаты могут быть рекомендованы организациям для разработки и производства перспективной элементной базы микро- и наноэлектроники и построения на ее основе современных радиоэлектронных систем, в том числе и адаптивных.