Тип публикации: диссертация
Год издания: 2014
Ключевые слова: эллипсометрия, наноструктуры, Fe/Si, автоматизация эксперимента, компьютерное моделирование
Аннотация: Разработан и реализован алгоритм, позволяющий проводить экспресс-контроль толщины и оптических постоянных структур in situ в масштабе реального времени. С использованием разработанного алгоритма получены профили изменения комплексного показателя преломления и толщины в процессе синтеза тонких плёнок Fe, ферромагнитного силицида Fe₃Показать полностьюSi и полупроводникового дисилицида β-FeSi₂. Получена зависимость диэлектрической проницаемости от энергии фотона для плёнок ферромагнитного силицида Fe₃Si в области E = 1,16 ÷ 4,96 эВ.