Развитие методики эллипсометрического контроля параметров наноструктур Fe/Si в процессе роста

Описание

Тип публикации: диссертация

Год издания: 2014

Ключевые слова: эллипсометрия, наноструктуры, Fe/Si, автоматизация эксперимента, компьютерное моделирование

Аннотация: Разработан и реализован алгоритм, позволяющий проводить экспресс-контроль толщины и оптических постоянных структур in situ в масштабе реального времени. С использованием разработанного алгоритма получены профили изменения комплексного показателя преломления и толщины в процессе синтеза тонких плёнок Fe, ферромагнитного силицида Fe₃Показать полностьюSi и полупроводникового дисилицида β-FeSi₂. Получена зависимость диэлектрической проницаемости от энергии фотона для плёнок ферромагнитного силицида Fe₃Si в области E = 1,16 ÷ 4,96 эВ.

Ссылки на полный текст

Персоны

  • Тарасов Иван Анатольевич

Вхождение в базы данных