Тип публикации: диссертация
Год издания: 2021
Ключевые слова: электронные свойства, атомная структура, диэлектрик, наноструктура, оксид, дефект
Аннотация: Цель диссертационной работы состояла в выявлении закономерностей и теоретическом обосновании механизмов влияния размера и дефектности на структурные и электронные свойства ультратонких слоев и малых кластеров оксидных high-k материалов. В работе решались следующие задачи: детального исследования электронной структуры кислородсодержПоказать полностьюащих наноразмерных high-k материалов; выявления вкладов парциальных плотностей состояния в «вверх» валентной зоны и «низ» зоны проводимости, в зависимости от химического состава, размера наночастиц, наличия примесных атомов; исследования особенностей распределения зарядовой плотности на поверхности нанокластеров кислородсодержащих наноразмерных high-k материалов; установления особенностей поведения электронной структуры, ширины запрещенной зоны малых наночастиц на основе оксидов переходных металлов ZrO2, TiO2 и BaTiO3 в зависимости от их размера и атомного строения (точечной группы симметрии); выявления закономерности в атомном строении, смещении энергетических зон и значений ширины запрещенной зоны при внедрении примесных атомов для диэлектрических слоев на основе оксида кремния и титаната бария; изучения особенности изменения структурных и энергетических свойств наноструктурных кластеров на основе оксидов переходных металлов ZrO2, TiO2, BaTiO3.