Тип публикации: диссертация
Год издания: 2022
Ключевые слова: газофазный кластер, кинетика взаимодействия кластеров с поверхностью, формирование ионизованных кластеров, газоструйные пучки ионизованных кластеров
Аннотация: Диссертационная работа посвящена экспериментальному исследованию формирования газоструйного пучка ионизованных кластеров аргона с заданными параметрами и установлению закономерностей его взаимодействия с поверхностью оптических материалов. В работе определены условия формирования пучка ионизованных кластеров, исследованы характерисПоказать полностьютики ионно-кластерного пучка аргона при различных условиях формирования кластеров, проведен комплексный анализ эффективности воздействия кластерных ионов на поверхность оптических материалов и выявлены закономерности взаимодействия несепарированного по размерам ионно-кластерного пучка аргона с поверхностью оптических материалов.