Перевод названия: AUTOMATION OF MAGNITOELLIPSOMETRIC IN SITU MEASUREMENTS ON THE ULTRAHIGH-VACUUM COMPLEX FOR SYNTHESIS AND RESEARCH OF MATERIALS OF SPINTRONICS
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2012
Ключевые слова: Ultrahigh-vacuum technology of multilayered nano-structures, spectral ellipsometry, Kerr effect, сверхвысоковакуумная технология многослойных нанострутур, спектральная эллипсометрия, эффект Керра
Аннотация: Представлены результаты модернизации созданного коллективом авторов магнитоэллипсометрического комплекса. Проведена автоматизация процессов управления аппаратной частью и реализованы алгоритмы обработки сигналов магнитоэллипсометра. Возможности созданной системы были продемонстрированы на примере технологического цикла создания и iПоказать полностьюn situ исследования структурных, оптических и магнитных свойств наноструктуры Fe/SiO 2/Si(100). The article is a presentation of results of modernization of magnetic-ellipsometric complex created by group of authors. Automation ofprocesses of hardware component control is carried out and algorithms of processing of signals of magnetic ellipsometer are realized. Possibilities of the created system were shown on the example of technological cycle of production and in situ of research of structural, optical and magnetic properties of nanostructure of Fe/SiO 2/Si(100).
Журнал: Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета им. академика М.Ф. Решетнева
Выпуск журнала: № 4
Номера страниц: 162-168
ISSN журнала: 18169724
Место издания: Красноярск
Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева