Тип публикации: патент
Год издания: 2022
Аннотация: Использование: для неразрушающего контроля качества магнитных пленок путем регистрации спектров ферромагнитного резонанса в широкой полосе частот от локальных участков тонкопленочных образцов. Сущность изобретения заключается в том, что локальный широкополосный спектрометр ферромагнитного резонанса содержит векторный анализатор цепей, размещенную в электромагнитном экране короткозамкнутую несимметричную полосковую линию, управляемые источники постоянного тока, питающие две пары ортогональных колец Гельмгольца, при этом в экране несимметричной полосковой линии выполнено отверстие, а образец тонкой магнитной пленки размещается с внешней стороны электромагнитного экрана таким образом, чтобы исследуемый участок образца находился напротив отверстия в экране, при этом устройство дополнительно содержит трехкомпонентную магнитную систему, предназначенную для компенсации лабораторного магнитного поля. Технический результат: обеспечение возможности проведения локальных измерений магнитных характеристик тонкопленочных образцов. 9 ил.<img src="/get_item_image.asp?id=49945144&img=00000001.jpg" class="img_big"> FIELD: non-destructive quality control. SUBSTANCE: invention is intended for non-destructive quality control of magnetic films by recording ferromagnetic resonance spectra in a wide frequency band from local areas of thin-film samples. The substance of the invention lies in the fact that a local broadband ferromagnetic resonance spectrometer contains a vector network analyzer, a short-circuited asymmetric strip line placed in an electromagnetic screen, controlled DC sources that feed two pairs of orthogonal Helmholtz rings, while a hole is made in the screen of an asymmetric strip line, and the sample thin magnetic film is placed on the outer side of the electromagnetic screen so that the test area of the sample is opposite the hole in the screen, while the device additionally contains a three-component magnetic system designed to compensate for the laboratory magnetic field. EFFECT: providing the possibility of local measurements of the magnetic characteristics of thin-film samples. 1 cl, 9 dwg