Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: Современные проблемы радиоэлектроники; Красноярск; Красноярск
Год издания: 2022
Аннотация: Рассмотрена разработка установки химической металлизации с воздействием магнитного поля на осаждаемую пленку. Показано, какими улучшенными свойствами обладают магнитные пленки, выращенные в таких условиях. На основе изученных данных разработана структурная схема установки.
Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники
Номера страниц: 413-416
Место издания: Красноярск
Издатель: Сибирский федеральный университет