Полный текст публикации: Подвижная заслонка подложки для формирования тонких пленок различной конфигурации, получаемых методом вакуумного напыления : патент на изобретение
Полный текст публикации: Подвижная заслонка подложки для формирования тонких пленок различной конфигурации, получаемых методом вакуумного напыления : патент на изобретение
Полный текст не загружен, но возможно он доступен по одной из следующих ссылок: