Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2022
Идентификатор DOI: 10.21883/PJTF.2022.14.52864.19197
Ключевые слова: copper oxide, vacuum arc, nanowires, gas sensor, оксид меди, вакуумная дуга, нанопроволоки, газовый сенсор
Аннотация: Высокопористые пленки CuO толщиной до 1 μm, состоящие из вертикально ориентированных нанопроволок диаметром ~ 50 nm, были синтезированы в процессе испарения меди в вакуумно-дуговом разряде в аргон-кислородной атмосфере с последующим осаждением на нагреваемые подложки. Фазовый состав и поликристаллическая природа пленок подтверждены методом рентгеновской дифракции. На примере газообразного водорода (H2) при рабочей температуре датчика 300oC исследованы сенсорные характеристики пленок CuO. Описан качественный механизм влияния газа на электрические характеристики наноструктурированной пленки CuO. Highly porous CuO films up to 1 µm thick, consisting of vertically oriented nanowires ~50 nm in diameter, were synthesized by copper evaporation in a vacuum arc discharge in an argon/oxygen atmosphere followed by deposition on heated substrates. The phase composition and polycrystalline nature of the films were confirmed by X-ray diffraction. On the example of gaseous hydrogen H2, at a sensor operating temperature of 300 °C, the sensory characteristics of CuO films were studied. The qualitative mechanism of the effect of gas on the electrical characteristics of the nanostructured CuO film is described.
Журнал: Письма в Журнал технической физики
Выпуск журнала: Т. 48, № 14
Номера страниц: 18-22
ISSN журнала: 03200116
Место издания: Санкт-Петербург
Издатель: Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук