Перевод названия: PRODUCTION OF CARBON FILMS ON SAPPHIRE USING CHEMICAL DEPOSITION FROM THE GAS PHASE AND THEIR STUDY

Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: Решетневские чтения; Красноярск; Красноярск

Год издания: 2021

Ключевые слова: carbon films, graphene, chemical vapor deposition, ethanol pyrolysis, atomic force microscopy, углеродные пленки, графен, химическое осаждение из газовой фазы, пиролиз этанола, атомно-силовая микроскопия

Аннотация: Проведено экспериментальное исследование процесса формирование углеродных слоев на сапфировой подложке методом CVD. Представлены результаты, полученные с помощью атомно-силовой микроскопии. An experimental study of the formation of carbon layers on a sapphire substrate by the CVD method has been carried out. The results obtained usПоказать полностьюing atomic force microscopy are presented.

Журнал: Решетневские чтения

Выпуск журнала: Часть 1

Номера страниц: 674-676

Место издания: Красноярск

Издатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева"

• Харченко И. А. (Институт вычислительного моделирования СОРАН)
• Симунин М. М. (Сибирский федеральный университет)
• Лукьяненко А. В. (Институт физики им. Л. В. Киренского СОРАН)
• Рыжков И. И. (Сибирский федеральный университет)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)