Анализ распространения СВЧ волн Лэмба в пьезоэлектрической слоистой структуре на основе алмаза

Описание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2021

Идентификатор DOI: 10.31857/S0320791921060058

Ключевые слова: метод конечных элементов, фазовая скорость, добротность, поверхностная акустическая волна, объемная акустическая волна, волна Лэмба, монокристаллический алмаз, нитрид алюминия, пьезоэлектрическая слоистая структура

Аннотация: Выполнено 1D и 2D моделирование возбуждения и распространения волн Лэмба в пьезоэлектрических слоистых структурах “Al/AlN/(100) алмаз” и “Al-ВШП/AlN/(100) алмаз” (с конфигурацией ПАВ-резонатора) соответственно. Рассчитано распределение упругих смещений в волнах Лэмба различных порядков, идентифицированы типы мод и исследованы диспеПоказать полностьюрсионные зависимости фазовых скоростей, включая возбуждение на сверхвысоких частотах. Значения фазовых скоростей, вычисленные из 1D и 2D моделей, находятся в хорошем соответствии с найденными из эксперимента. Показано, что выше частоты синхронизма ВШП в этих структурах возникают резонансы, связанные с возбуждением волн Лэмба в подложке. Добротность этих резонансов гораздо выше, чем у резонансов на поверхностных акустических волнах, что подтверждено экспериментальными данными. Рассчитанные из 2D модели амплитудно-частотные характеристики и частотные зависимости добротности находятся в хорошем соответствии с экспериментом.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Акустический журнал

Выпуск журнала: Т. 67, 6

Номера страниц: 595-602

ISSN журнала: 03207919

Место издания: Москва

Издатель: Российская академия наук

Персоны

  • Квашнин Г.М. (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов)
  • Сорокин Б.П. (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов)
  • Бурков С.И. (Сибирский федеральный университет)

Вхождение в базы данных