Полный текст публикации: Подвижная заслонка для формирования тонких пленок переменной толщины, получаемых методом вакуумного напыления : патент на изобретение
Полный текст публикации: Подвижная заслонка для формирования тонких пленок переменной толщины, получаемых методом вакуумного напыления : патент на изобретение
Полный текст не загружен, но возможно он доступен по одной из следующих ссылок: