Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2016
Аннотация: Получение высококачественных кристаллов германия является одной из важнейших задач ростовой промышленности. Важным параметром качества монокристаллов является величина плотности дислокаций. Представлены экспериментальные данные по плотности дислокаций в кристаллах германия диаметром 100 mm различной формы боковой поверхности, выращПоказать полностьюенные по методу Чохральского. Получены результаты численного моделирования роста кристаллов с использованием моделей теплообмена, гидродинамики и модели дислокаций Александера-Хаасена в программе CGSim. Сравнение экспериментальной и расчетной величины плотности дислокаций показало пригодность модели дислокаций для изучения дефектов структуры кристаллов германия и повышения их качества.
Журнал: Журнал технической физики
Выпуск журнала: Т. 86, № 9
Номера страниц: 7-12
ISSN журнала: 00444642
Место издания: Санкт-Петербург
Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Наука